两性离子表面活性剂对A向蓝宝石晶片化学机械抛光的影响
陈国美，杜春宽，倪自丰，白亚雯，刘远祥，赵永武
现代制造工程 . 2020, (12): 83 -87 .  DOI: 10.16731/j.cnki.1671-3133.2020.12.013


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