现代制造工程 ›› 2022, Vol. 501 ›› Issue (6): 78-84.doi: 10.16731/j.cnki.1671-3133.2022.06.012

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超声振动辅助模板电解加工微凹坑方法研究

张西方,徐文杰,任坤,于金涛,杨梦杰,周培祥,李华   

  • 发布日期:2022-07-26
  • 基金资助:
    江苏省青年科学基金项目(BK20180969); 江苏省创新创业项目(202110332076Y)

  • Published:2022-07-26

摘要: 针对微细电解加工表面微织构加工精度较差等问题,提出超声振动辅助模板电解加工方法。制备具有通孔结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)绝缘模板,设计制作超声振动变幅杆结构;进行超声振动辅助模板电解加工仿真分析,开展微凹坑加工试验研究。在加工电压为12 V和加工时间为12 s条件下,辅助以纵向超声波振动频率为28 kHz及超声振幅为7μm时有:绝缘模板作用下加工的微凹坑深度为10.4μm,直径为116μm;无绝缘模板作用下加工的微凹坑深度为9.7μm,直径为126μm;无超声振动时绝缘模板作用下加工的微凹坑深度为4.1μm,直径为114μm。

关键词: 超声振动; 辅助模板; 电解加工; 微凹坑; 加工精度

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