摘要： 针对部分晶圆厂晶圆盒查找效率低下的问题，设计了一种基于射频识别(Radio Frequency Identification, RFID)技术的低频玻璃管电子货架系统。根据电子货架系统的使用需求对RFID阅读器硬件电路进行了设计，RFID阅读器的中央处理模块采用STM32系列的微控制单元(Microcontroller Unit, MCU),射频模块工作频率为134.2 kHz,采用C语言进行程序编写。基于射频识别技术的低频玻璃管电子货架系统实现了货架上晶圆盒存放信息查询、显示等功能，同时将该电子货架系统数据库中的晶圆盒信息上传至晶圆厂生产管理系统，以方便晶圆调度。基于射频识别技术的低频玻璃管电子货架系统已在杭州某集成电路有限公司正式投入使用，测试和实践应用表明，该电子货架系统读取速度快、识别准确率高，可有效提高晶圆盒查找速度，达到了设计预期效果。
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