玻璃基板光学检测仪器气浮工作台特性仿真研究
权露, 陶晓杰, 张群, 张蓝
Simulation study on the characteristics of air bearing table in glass substrate optical detection equipment
Quan Lu, Tao Xiaojie, Zhang Qun, Zhang Lan
现代制造工程 . 2018, (11): 107 -111 .  DOI: 10.16731/j.cnki.1671-3133.2018.11.019


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