磁控溅射镀膜技术在铝合金制品装饰镀中的应用

doi:10.16731/j.cnki.1671-3133.2018.06.016

现代制造工程 ›› 2018, Vol. 453 ›› Issue (6): 86-90.doi: 10.16731/j.cnki.1671-3133.2018.06.016

磁控溅射镀膜技术在铝合金制品装饰镀中的应用

张恒, 严由春, 姜文, 王树林

江苏大学机械工程学院,镇江 212013

收稿日期:2017-04-06 出版日期:2018-06-18 发布日期:2018-07-20
作者简介:张恒,硕士研究生,主要研究方向为铝合金表面的PVD装饰性薄膜工艺。E-mail:23978148@qq.com
基金资助:
国家自然科学基金项目(51275217)

Application of magnetron sputtering technology on aluminum alloy decoration coating

Zhang Heng, Yan Youchun, Jiang Wen, Wang Shulin

School of Mechanical Engineering,Jiangsu University,Zhenjiang 212013,Jiangsu,China

Received:2017-04-06 Online:2018-06-18 Published:2018-07-20

摘要/Abstract

摘要： 磁控溅射镀膜技术广泛应用于高档产品零/部件表面的装饰镀中。采用磁控溅射镀膜技术在铝合金基材上镀制Ti/TiN/TiCN复合薄膜,研究了氮气流量、乙炔流量及沉积时间等工艺参数对制备TiCN薄膜颜色的影响,探讨了提高复合薄膜的显微硬度、结合强度并进而改善铝合金表面装饰性和防护性的途径。研究结果表明,通过控制氮气流量、乙炔流量及沉积时间可使TiCN薄膜呈现特定颜色,如仿金色;当复合薄膜膜厚达到1.5 μm时,涂层铅笔硬度达到6 H,薄膜附着力达到1级,满足电子行业的测试标准。

关键词: 磁控溅射, 铝合金, Ti/TiN/TiCN复合薄膜

Abstract: Magnetron sputtering technology is widely applied in the decorative plating of high-grode products. The Ti/TiN/TiCN composite films were deposited by magnetron sputtering process on the substrate of aluminium alloy.The TiCN films with different colour were prepared by changing the processing parameters of nitrogen flow rate,acetylene flow rate and deposition time.The ways to improve the microhardness and bonding strength of the composite film and to improve the decorative and protective properties of the aluminum alloy surface are also discussed.The results show that by controlling the process parameters,such as nitrogen flow,acetylene flow,sputtering time,the TiCN film presents certain color,such as “luxury-gold-colored”,when the compositefilms thickness at 1.5 microns,the composite films pencil hardness of 6 H,adhesion reach level 1,meet the test standard of 3C industry.

Key words: magnetron sputtering, aluminum alloy, Ti/TiN/TiCN composite films

中图分类号:

TG178

张恒, 严由春, 姜文, 王树林. 磁控溅射镀膜技术在铝合金制品装饰镀中的应用[J]. 现代制造工程, 2018, 453(6): 86-90.

Zhang Heng, Yan Youchun, Jiang Wen, Wang Shulin. Application of magnetron sputtering technology on aluminum alloy decoration coating[J]. Modern Manufacturing Engineering, 2018, 453(6): 86-90.

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Application of magnetron sputtering technology on aluminum alloy decoration coating

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