摘要： 芯片分选机台的动刚性对芯片分选过程中的平稳性至关重要。直驱电机驱动多工位转盘进行间歇式高速旋转运动时，施加于机台的反作用扭矩会引起机台振动。通过对该反作用激励进行频谱分析可知，激励的最大振幅集中于频率带0～50 Hz内。据此改进机台结构，优化加强支架的安装参数，使机台的固有频率避开反作用激励的最大振幅频率带。通过对优化前后机台的瞬态响应和试验数据进行对比，发现在机台固有频率大幅提高后，在同等反作用激励条件下，机台的振动加速度幅值、平均振动能量密度等均大幅减小，机台动态特性得到很大改善。

关键词: 直驱电机; 机台优化; 固有频率; 瞬态响应; 加速度采集;

中图分类号: 

• TN40